仪器仪表工业论文_电子探针定量分析影响因素-光学仪器

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仪器仪表工业论文_电子探针定量分析影响因素

作者:

关键词:

摘要：

文章目录

1 待测样品影响因素

1.1 待测样品表面平整度

1.2 样品导电性

1.3 待测样品微区均匀性

1.4 待测样品元素迁移（样品损伤）

2 标准样品的影响

2.1 标准样品的要求

2.2 标准样品键合状态

2.3 标准样品氧化

3 测试过程的影响因素

3.1 电压束流

3.2 样品位置

3.3 元素缺失

3.4 元素重叠峰

3.5 电子束直径及电子束扫描方式

3.6 环境温度

3.7 碳污染

3.8 背底校正

3.9 氧化物定量分析

4 结语

文章摘要:电子探针定量点分析是精确测量块体材料微区元素浓度的有效方法。元素定量分析干扰因素较多,在实际应用中实验结果经常偏离元素浓度总量(100%),上下偏差达2%以上。通过浅析元素定量分析的影响因素,提出应对措施并指导同行业者避免干扰因素的产生,确保定量分析结果尽量控制元素浓度总量在99%～101%之间。

文章关键词:

论文作者:于凤云刘晓英李春艳

作者单位:大连理工大学材料科学与工程学院

论文DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2021.21.044

论文分类号: TH83

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文章来源：《光学仪器》网址: http://www.gxyqzz.cn/qikandaodu/2021/1201/365.html